發(fā)布時(shí)間:2021-10-22
國內企業(yè)突破光刻技術(shù),推動(dòng)產(chǎn)品向小型化高精度、發(fā)展。
應時(shí)晶體具有穩定的硬度和理化性質(zhì),其頻率基本不隨溫度變化,而由此產(chǎn)生的內部振蕩損耗也最小,因此非常適合精密制造。同時(shí),與傳統的機械加工生產(chǎn)方式不同,改進(jìn)后的工藝更便于大規模生產(chǎn),在保證小型化的同時(shí),可以將偏差控制到最小,使產(chǎn)品具有小型化、、低功耗、、高穩定性、、高頻率的優(yōu)點(diǎn)。使用QMEMS技術(shù)的微型化產(chǎn)品與傳統機械加工生產(chǎn)的晶體振蕩器前端技術(shù)的區別在于:
1)微型化產(chǎn)品的切割步驟不是一次切割成單個(gè)音叉晶體單元,而是先切割成一個(gè)可以收集數千個(gè)晶片單元的大晶片;
2)音叉wafer和電極形成工藝采用雙面光刻,在WAFER上進(jìn)行光刻、金屬氣相沉積、激光調頻等集成加工,單個(gè)音叉單元尺寸極小。
國內企業(yè)在光刻技術(shù)上取得突破?;诩す庹{頻和光刻技術(shù),加強了MEMS技術(shù)在晶體諧振器產(chǎn)品中的應用。目前,公司已經(jīng)獲得了生產(chǎn)微晶諧振器核心技術(shù)的研究成果,并成功利用雙面光刻工藝在一個(gè)3英寸的WAFER上組裝了3000多個(gè)“1610”型晶體諧振器。
在下游應用的推動(dòng)下,晶體振蕩器市場(chǎng)正在回暖。
全球晶體振蕩器在應時(shí)的需求逐年增加。
目前,我國電子信息產(chǎn)業(yè)的國際地位穩步提升?!吨袊娮有畔a(chǎn)業(yè)統計年鑒》數據顯示,2018年中國電子信息產(chǎn)業(yè)銷(xiāo)售收入169027億元,其中電子制造業(yè)收入達105966億元,出口值58931億元,進(jìn)口值41898億元,市場(chǎng)規模(收入進(jìn)出口)88933億元。盡管2018年全球貿易形勢復雜,消費電子市場(chǎng)疲軟,但通過(guò)結構調整、轉型升級,中國電子信息制造業(yè)走上高質(zhì)量發(fā)展之路,中國規模以上電子信息制造業(yè)主營(yíng)業(yè)務(wù)收入仍逆勢增長(cháng)9.0%。